無塵烘箱廣泛應用于半導體、光學器件、鋰電池、醫藥及精密電子元件的干燥、固化與老化處理，其核心要求不僅是精準控溫（±1℃），更需維持內部微粒濃度極低（ISO5-7級）。若維護不當，易導致顆粒污染、溫度漂移、HEPA失效或內腔銹蝕，直接影響產品良率?？茖W規范的定期保養
無塵烘箱，是保障潔凈+恒溫雙重要求的關鍵。
一、每日使用前后基礎維護
清潔內腔表面：使用無塵布蘸取IPA（異丙醇）或去離子水，擦拭不銹鋼內壁、擱板及門封，去除殘留揮發物或微粒；
檢查門密封性：確認硅膠門封無變形、開裂，關門后無縫隙漏光；
記錄運行參數：核查設定溫度、實際溫度及超溫保護狀態，確保無異常波動。
二、每周例行保養
HEPA/ULPA過濾器檢查：
目視檢查初效過濾器是否積塵，及時更換；
使用風速儀測量高效過濾器面風速（通常0.3-0.5m/s），若下降超20%，需更換HEPA；
擱板與支架清潔：取出擱板，用超聲波清洗機去除微粒附著，烘干后裝回；
排風系統清理：清潔排氣口濾網，防止堵塞影響換氣效率。
三、每月深度維護
溫控系統校準：
使用經計量認證的多點溫度記錄儀，驗證腔內溫度均勻性（典型要求±2℃以內）；
校準主控傳感器與超溫保護探頭，偏差超限需調整或更換；
內腔完整性檢查：
查看焊縫、角接處是否有銹斑或涂層剝落（尤其處理酸性樣品后）；
不銹鋼表面如有劃痕，需拋光處理以防藏污納垢；
風機與加熱管除塵：斷電后用吸塵器清除循環風機葉片及加熱管積塵，提升熱效率。
四、每季度專業維護
潔凈度測試：委托第三方進行粒子計數檢測（0.5μm、5.0μm顆粒濃度），確認符合ISO等級；
電氣安全檢查：測試接地電阻（＜4Ω）、絕緣電阻及超溫保護功能；
更換老化部件：如門鉸鏈潤滑脂、溫度控制器繼電器、密封條等。
更新時間：2025-11-18 
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